石英フィーダーチューブ
当社の石英フィーダー チューブ システムは、高温で腐食性の環境でも正確で汚染のない材料を供給できるように設計されています。{0}{1}{1} 99.99% の溶融シリカから製造されており、半導体プロセス、化学蒸着 (CVD)、および特殊ガラス製造において最適なパフォーマンスを保証します。
説明
主な特長
優れた素材
- 超-高純度: 99.99% の SiO₂ 組成により金属汚染を最小限に抑えます
- 熱安定性: 1100 度での連続動作に耐えます (短期的には 1450 度まで)。-
- 耐薬品性: ほとんどの酸、ハロゲン、溶融塩に対して不活性 (HF を除く)
精密工学
- カスタム直径: 3mm から 150mm ID まで利用可能
- 壁厚オプション: 1mm ～ 10mm (標準)
- 表面仕上げ:
- 火-磨き上げられた内装 (Ra<0.5μm)
- 外径公差（±0.05mm）の精密研削（オプション）
構成オプション
- 直線、曲げ (30 度 -180 度)、または螺旋デザイン
- フランジ、ネジ、またはすりガラス接続-
- 統合された熱電対ウェルまたはガスパージポート
応用分野
● 半導体産業
- シリコンインゴットの生産
- MOCVD リアクター供給システム
- 拡散炉の用途
●先端材料
- 光ファイバーの製造
- PV ポリシリコン処理
- 高純度セラミック合成-
● 研究開発
- 新規材料の合成
- 宇宙シミュレーションチャンバー
- 核研究アプリケーション
プロパティ
|
物理的特性 |
価値観 |
|
純度 |
＞99.99% |
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密度 |
2.2g/cm3 |
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透明性 |
＞90% |
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モース硬度 |
5.5--6.5 |
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変形点 |
1280度 |
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軟化点 |
1780度 |
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アニーリングポイント |
1250度 |
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比熱 (20 - 350 度) |
670J/kg。程度 |
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熱伝導率(20度) |
1.4W/分。程度 |
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熱伝導率 (w/mk、1000度) |
1.0-1.2 |
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屈折率 |
1.4585 |
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熱膨張係数 |
5.5*10 -7センチメートル/センチメートル。程度 |
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- の高温使用温度 |
1750--2050度 |
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短期使用温度 - |
1300度 |
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長期使用温度 - |
1100度 |
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化学的性質 |
価値観 |
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耐酸性 |
強酸(HFを除く)、強アルカリ、有機溶液 |
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高温耐腐食性 |
素晴らしい |
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金属不純物含有量 |
＜5ppm |
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電気的特性 |
価値観 |
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抵抗率 |
7*107Ω.cm |
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絶縁強度 |
250～400Kv/cm |
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誘電率 |
3.7~3.9 |
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誘電吸収係数 |
＜4*10-4 |
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誘電損失係数 |
＜1*10-4 |
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機械的性質 |
価値観 |
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圧縮強度 |
1100MPa |
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曲げ強度 |
67MPa |
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抗張力 |
48MPa |
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ポアソン比 |
0.14~0.17 |
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ヤング率 |
72000MPa |
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せん断弾性率 |
31000MPa |
配送
よくある質問
Q1: カスタムデザインの納期はどれくらいですか?
A: 注文数量によって異なります。
Q2: 石英フィーダー チューブ内の物質の蓄積をどのように防ぐのですか?
A: 以下をお勧めします。
1) 定期的な熱サイクル (800 度で 2 時間)
2) 運転中のガスパージ
3) オプション内面エッチング処理
Q3：どのようなメンテナンスが必要ですか？
A: 年次検査は次の場合に推奨されます。
- 肉厚測定（超音波）
- 視覚的欠陥チェック
- 伝送検証（光学アプリケーションの場合）
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