説明
応用分野
半導体とマイクロエレクトロニクス:
CVD/PVD チャンバー、リソグラフィー システム、およびウェーハ処理装置。
01
太陽光発電と再生可能エネルギー:
太陽電池製造ライン、水素化反応炉、シリコンインゴット炉。
02
真空＆プラズマ技術:
スパッタリングコータ、プラズマエッチング装置、電子ビーム蒸着装置。
03
研究開発:
大学の研究室、国立研究機関（ナノマテリアル合成、核融合エネルギー研究など）、産業の研究開発センター。
04
光学および精密機器:
安定した透明な環境を必要とするレーザー、センサー、または天文コンポーネント用の保護エンクロージャ。
05
プロパティ
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物理的特性 |
価値観 |
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純度 |
＞99.99% |
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密度 |
2.2g/cm3 |
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透明性 |
＞90% |
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モース硬度 |
5.5--6.5 |
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変形点 |
1280度 |
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軟化点 |
1780度 |
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アニーリングポイント |
1250度 |
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比熱 (20 - 350 度) |
670J/kg。程度 |
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熱伝導率(20度) |
1.4W/分。程度 |
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熱伝導率 (w/mk、1000度) |
1.0-1.2 |
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屈折率 |
1.4585 |
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熱膨張係数 |
5.5*10 -7センチメートル/センチメートル。程度 |
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- の高温使用温度 |
1750--2050度 |
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短期使用温度 - |
1300度 |
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長期使用温度 - |
1100度 |
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化学的性質 |
価値観 |
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耐酸性 |
強酸(HFを除く)、強アルカリ、有機溶液 |
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高温耐腐食性 |
素晴らしい |
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金属不純物含有量 |
＜5ppm |
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電気的特性 |
価値観 |
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抵抗率 |
7*107Ω.cm |
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絶縁強度 |
250～400Kv/cm |
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誘電率 |
3.7~3.9 |
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誘電吸収係数 |
＜4*10-4 |
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誘電損失係数 |
＜1*10-4 |
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機械的性質 |
価値観 |
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圧縮強度 |
1100MPa |
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曲げ強度 |
67MPa |
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抗張力 |
48MPa |
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ポアソン比 |
0.14~0.17 |
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ヤング率 |
72000MPa |
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せん断弾性率 |
31000MPa |
配送
よくある質問
Q1: 石英ベルジャーはフッ化水素酸(HF)でも使用できますか?
A1: いいえ。HF は SiO2 と反応して四フッ化ケイ素 (SiF4) を形成し、不可逆的な損傷を引き起こします。 HF- を含むプロセスには PTFE またはフッ素樹脂チャンバーを使用してください。
Q2: 石英ベルジャーは高真空下で密封できますか?
A2: 互換性のあるガスケット (例: 超-高真空用の銅、低/中真空用のバイトン) およびフランジ (10⁻¹⁰ mbar の ISO-CF、10⁻⁶ mbar の ISO-KF) と組み合わせる場合、はい。シール面がきれいで傷がないことを確認してください。
Q3: 石英素材は紫外線をカットしますか?
A3: クォーツは 200nm までの紫外線を透過しないため、紫外線に敏感な用途に最適です。- UV- ブロックのニーズには、特殊なコーティングを施した石英または代替材料をご利用いただけます (カスタム ソリューションについてはお問い合わせください)。
Q4: 石英ベル ジャーに穴を開けたり、ポートを追加したりできますか?
A4: はい、弊社工場での精密加工により可能です。構造の完全性と気密性を確保するために、カスタマイズ中にポートのサイズ、位置、タイプ (ガス入口、電気フィードスルー、ビューポート) を指定します。
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